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| 装置の概要 |
薄膜X線回折装置である。
全自動水平型多目的X線回折装置SmartLabは、装置の制御をワンタッチで切り換え、外部PCから制御し、X線回折原理に基づく多様な
測定や
解析を行う。コンピュータ制御により、面内外の配向や逆格子マッピング、膜厚、粒径空孔径分布などの多様な解析を行うことができる。
X線回折測定の基本原理はブラッグの法則に基づく。
| 操作方法と利用範囲 |
本装置はいわゆる粉末X線回折装置で，外部コンピュータからあるいは本体操作パネルから制御し，X線回折測定を行います。本装置で可能な
測定は以下の通りです。
１）無機，有機を問わず結晶化した粉末試料の結晶相の同定，結晶配向性，結晶化率，おおよその組成，格子定数の測定などが可能です。
２）測定法を工夫することにより，基板上に堆積した単結晶薄膜の結晶相の同定なども可能です。結晶配向性評価に不可欠なロッキングカーブ測定
も可能です。
３）測定可能な試料サイズは測定条件にもよりますが，おおよそ５mm×10mm程度で，分析の深さは数μm程度です。
| 申し込み窓口 |
川江 健 理工研究域電子情報通信学系 076-234-4881
杉山 博則 総合技術部機器分析部門 076-234-4803
| 申し込み及び利用の仕方 |
設備共同利用推進総合システムからの利用申請の上、許可された者のみ利用可。毎年、４・５・6月および９・10月に実施される取扱い説明会
の受講すること（規定外の時期に受講を希望する場合には要相談）。
利用予約は、設備共同利用推進総合システムを用いて、利用開始の２日前までに予約すること。装置管理者からの予約承認が必要。
利用開始の7日前からキャンセル料（利用料金の100%）が発生する。
利用可能時間は、平日9:00〜19:00。
| 使用料金 |
利用1時間あたり100円（9:00〜19:00）